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为加强供应ASML,Gigaphoton扩充DUV光源设备产能

编辑:AVA 发布:2023-07-10 15:09

据日媒报道,日本半导体设备厂Gigaphoton正在日本栃木县兴建新厂房,扩充深紫外光(DUV)曝光设备的光源设备的产能,投资额50亿日圆(约3,500万美元),目标2023年内完工。

这是Gigaphoton持续扩充产能规划的一部分。Gigaphoton在2022年4月就已完工一栋厂房,并腾出研发用的产线投入量产,以扩充产能。再加上目前正在兴建、预定2023年内完工的新厂房,届时Gigaphoton在DUV曝光机光源设备的产能,将扩大为2020年度(2020/4~2021/3)时的2.5倍。如此一来,将可增强对于重要客户ASML等的供应能力。

截止2022年,Gigaphoton累计已出货2,000台以上的半导体曝光设备准分子镭射(Excimer Laser)设备。而2022全年销量接近200台。

Gigaphoton的目标是到2030年,累计出货4,000台,年销量300台,在DUV曝光机光源设备市场取得6成市占。目前Gigaphoton与ASML购并的Cymer,均分了DUV曝光机光源设备的市场。

ASML是Gigaphoton的重要客户,虽然ASML是目前全球唯一的极紫外光(EUV)曝光机制造商,也正在发展最先进的EUV半导体制程曝光技术,且子公司Cymer也在生产DUV光源设备,但Gigaphoton认为,DUV方面的需求,还有成长的空间。

另外,Gigaphoton的营收25%来自台湾地区,15%来自大陆地区。因此是否会遭遇地缘冲突风险,仍很难预测。尤其Gigaphoton希望从检测领域切入EUV光源设备市场,然而EUV领域涉及先进制程芯片,是半导体出口管制的重点。

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