Inpria量产EUV用无机光刻胶，三星、SK海力士均参与了投资

据韩媒报导，美国材料公司Inpria已开始生产基于MOx的无机光刻胶。

Inpria大规模生产设施最近已投入使用，将能够满足对无机光刻胶的需求。该设施每年的生产能力为4,000加仑，约15,141升。该公司在2019年上半年生产了230加仑，而到2020年上半年已跃升至550加仑。预计产量将进一步增长。

Inpria首席执行官Andrew Grenvile表示，该司也已取得将物料安全存储约六个月的设施。

此外，Inpria在2月份的C轮融资中获得了3,100万美元，这笔资金有可能用于扩大生产设施。JSR，SK Hynix和台积电在C轮融资中进行了投资。

EUV 光刻胶分为CAR和非CAR两种，其中CAR使用聚合物，而非CAR使用金属氧化物，Inpria生产后者。无机光刻胶的颗粒是有机颗粒的五分之一。EUV的光吸收率也提高四到五倍，可帮助蚀刻图案更精确。 

Inpria还将与其设备合作伙伴合作以增强生态系统。JSR是其质量和制造系统的合作伙伴，TOK将成为其他电池的合作伙伴。集成过程将与IMEC共同开发。MOx扫描仪将使用ASML开发。Applied Materials和Tokyo Electron是设备兼容性的合作伙伴。

Inpria的目标是到2022年推出第三代EUV无机光刻胶，可满足对3nm工艺的需求。 

Inpria于2007年从俄勒冈州立大学分拆出来，当时是作为一个团队在当地的化学实验室中成立的。2014年，它获得了三星风险投资，英特尔和Applied Materials的投资。2017年，三星再次投资。