上海精测首次中标长江存储3台集成式膜厚光学关键尺寸量测仪

中国国际招标网显示，1月17日精测电子控股子公司上海精测半导体技术有限公司（简称“上海精测”）中标长江存储3台集成式膜厚光学关键尺寸量测仪。

资料显示，上海精测成立于 2018 年7月，主要从事以半导体测试设备为主的研发、生产和销售，同时也开发一部分显示和新能源领域的检测设备，通过自主构建研发团队及海外并购引入国产化等手段，实现半导体测试、制程设备的技术突破及产业化，快速做大做强；并倚靠精测电子在平板显示检测领域已经在国内市场取得领先的市场地位，提高相关专用设备产品在集成电路市场的竞争力，旨在将公司打造成为全球领先的半导体测试设备供应商及服务商。

上海精测以椭圆偏振技术为核心，在1年多时间内开发了适用于半导体工业级应用的膜厚测量以及光学关键尺寸测量系统，包括集成式膜厚测量机EFILM 300IM、集成单/双模块膜 厚测量机EFILM 300DS、高性能膜厚及 OCD 测量机 EPROFILE 300FD 等产品型号。近日实现3台来自长江存储的集成式膜厚光学关键尺寸量测仪订单，表明上海精测已具备晶圆制造环节的膜厚量测设备重复、批量供应能力。

据Gartner数据，量测设备在晶圆制造工艺设备市场中占比11%，全球量测设备市场规模约为60亿美元。我国晶圆厂的量测设备市场，一直以来被KLA等长期垄断。

近几年来，国产量测设备陆续取得进展，例如上海睿励2017年底拿到长江存储2台膜厚设备订单；中科飞测也拿到了长江存储等大厂的订单；上海精测中标3台膜厚量测设备。