编辑:Andy 发布:2025-03-27 11:03
中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)正式发布其自主研发的12英寸晶圆边缘刻蚀设备Primo Halona™。该款刻蚀设备的问世,实现了中微公司在等离子体刻蚀技术领域的又一次突破创新。
此款12英寸边缘刻蚀设备Primo Halona™采用中微公司特色的双反应台设计,可灵活配置最多三个双反应台的反应腔,且每个反应腔均能同时加工两片晶圆,在保证较低生产成本的同时,满足晶圆边缘刻蚀的量产需求,从而实现更高的产出密度,提升生产效率。此外,设备腔体均搭载Quadra-arm机械臂,精准灵活,腔体内部采用抗腐蚀材料设计,可抵抗卤素气体腐蚀,为设备的稳定性与耐久性提供保证。此外,Primo Halona™配备独特的自对准安装设计方案,不仅可提高上下极板的对中精度和平行度,还可有效减少因校准安装带来的停机维护时间,从而帮助客户优化产能,精益生产。在设备智能化方面,Primo Halona™提供可选装的集成量测模块,客户通过该量测模板可实现本地实时膜厚量测,一键式实现晶圆传送的补偿校准,实现更好的产品维护性,大大提升后期维护效率。
据业绩快报显示,中微公司2024年营业收入约90.65亿元,较2023年增加约28.02亿元。公司在过去13年保持营业收入年均增长大于35%,近四年营业收入年均增长大于40%的基础上,2024年营业收入又同比增长约44.73%。其中,刻蚀设备收入约72.77亿元,在最近四年收入年均增长超过50%的基础上,2024年又同比增长约54.73%。
存储原厂 |
三星电子 | 89000 | KRW | +3.49% |
SK海力士 | 395500 | KRW | +9.86% |
铠侠 | 5410 | JPY | +14.98% |
美光科技 | 182.150 | USD | +8.86% |
西部数据 | 130.590 | USD | +8.77% |
闪迪 | 121.120 | USD | +7.95% |
南亚科技 | 79.7 | TWD | +4.59% |
华邦电子 | 36.00 | TWD | +6.51% |
主控厂商 |
群联电子 | 796 | TWD | +9.94% |
慧荣科技 | 97.300 | USD | +2.63% |
联芸科技 | 65.80 | CNY | +7.03% |
点序 | 64.3 | TWD | +0.47% |
品牌/模组 |
江波龙 | 178.03 | CNY | +20.00% |
希捷科技 | 256.840 | USD | +8.80% |
宜鼎国际 | 341.0 | TWD | +1.49% |
创见资讯 | 115.5 | TWD | +2.21% |
威刚科技 | 167.5 | TWD | +6.69% |
世迈科技 | 27.070 | USD | +3.01% |
朗科科技 | 29.10 | CNY | +2.90% |
佰维存储 | 104.30 | CNY | +9.34% |
德明利 | 204.69 | CNY | +10.00% |
大为股份 | 19.71 | CNY | +5.46% |
封测厂商 |
华泰电子 | 46.75 | TWD | +1.52% |
力成 | 151.0 | TWD | +2.72% |
长电科技 | 44.09 | CNY | +7.83% |
日月光 | 164.5 | TWD | +0.92% |
通富微电 | 40.17 | CNY | +5.21% |
华天科技 | 11.78 | CNY | +4.16% |
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