全力推动全面自动化，三星计划2030年实现全自动芯片工厂

据韩媒报道，三星电子已开始开发其“智能传感系统”，旨在提高产量并改变其半导体工厂的运营方式。该系统主要用于实时监控和分析生产过程，目前可以自动处理等离子体均匀性。

三星最终计划到 2030 年使其工厂实现完全自动化且无需人工 。实现这一目标需要开发能够管理大量数据并自动优化设备性能的系统。智能传感系统是该计划的重要组成部分，预计将在使这些智能、全自动晶圆厂成为现实的过程中发挥至关重要的作用。三星目前正在向智能传感器等项目投资数千万韩元，希望其投资能够从长远来看获得回报。 

目前正在开发的智能传感器旨在测量晶圆上等离子体的均匀性。这一点至关重要，因为半导体制造中的蚀刻、沉积和清洁等工艺的结果很大程度上受到等离子体均匀性的影响，这就是为什么对此方面的精确测量和管理至关重要。