英特尔宣布已开始采用EUV大规模量产Intel 4制程节点

近日，英特尔宣布已开始采用极紫外光刻（EUV）技术大规模量产Intel 4制程节点。这是英特尔首个采用EUV 技术的制程节点，而据设备业界消息，英特尔已扩大向家登采购 EUV Pod光罩盒。

采用该制程、产品代号为Meteor Lake的英特尔酷睿Ultra处理器将于今年12月14日发布，近期英特尔正全力投入Intel4制程的量产。英特尔正在推进四五个先进制程节点的计划，除了已量产的Intel4制程以外，Intel3制程的3nm技术也预计年底开始量产，将用于生产Sierra Forest 处理器及 Granite Rapids 处理器，扩大数据中心及AI应用领域的市占率。

目前，Intel 7和Intel 4已实现大规模量产，Intel 3正在按计划推进，目标是2023年底，采用RibbonFET全环绕栅极晶体管和PowerVia背面供电技术的Intel 20A和Intel 18A目标是2024年量产。