编辑:AVA 发布:2022-11-24 11:56
日本微影设备厂商佳能日前在法说会上证实,将在日本斥资逾500亿日圆(约合3.57亿美元),在日本中部栃木县兴建新厂,扩增其微影设备产能,佳能表示该厂房将于2023年兴建,预计从2025年开始营运。
综合多家日媒报道,尽管佳能发言人表示,新厂以扩增现有标准氟化氪(KrF)和i-line等系统为主,但还计划生产支援15nm以下先进制程量产的纳米压印(nanoimprint)微影设备,目前尚未做出最终决定。
从设备试产、晶圆厂试运行,再到新厂生产线投产设备,日企欲通过半导体「纳米压印」技术追赶ASML的脚步推进。佳能、大日本印刷与铠侠合作,自2017年起在铠侠四日市工厂启动纳米压印的试制设备测试运行后,如今在技术层面上,已有推向商业化导入的时间表。
以最乐观进程预估,2025年佳能可望交出能与ASML EUV曝光机台一较长短的晶圆厂量产设备,据日经亚洲报导指出,纳米压印技术微影设备现阶段支援15nm制程,但将力争进一步推进制程微缩,初期将导入生产DRAM、PC用CPU等,未来还可望应用在手机AP等极需高阶先进制程的逻辑IC生产。
大日本印刷负责人表示,如今技术上已有突破,来自半导体厂商的咨询正在增加,尽管商用化仍面临挑战,但相较于ASML的EUV曝光机台,导入佳能纳米压印设备后,预计晶圆制造成本降低4成、耗电量降低9成,不仅可省掉成本庞大的曝光制程其中一部分,在ESG大势所趋下,耗电量大减的吸引力也让不少厂商探询。
存储原厂 |
三星电子 | 54800 | KRW | +0.37% |
SK海力士 | 190100 | KRW | -0.11% |
铠侠 | 2046 | JPY | +5.85% |
美光科技 | 85.150 | USD | +3.06% |
西部数据 | 44.300 | USD | 0.00% |
闪迪 | 36.660 | USD | +4.83% |
南亚科 | 34.35 | TWD | -1.72% |
华邦电子 | 15.55 | TWD | -0.32% |
主控厂商 |
群联电子 | 462.0 | TWD | +0.11% |
慧荣科技 | 52.790 | USD | -0.11% |
联芸科技 | 40.59 | CNY | -3.63% |
点序 | 54.0 | TWD | +1.69% |
国科微 | 69.09 | CNY | -1.27% |
品牌/模组 |
江波龙 | 77.56 | CNY | -2.82% |
希捷科技 | 96.300 | USD | +0.89% |
宜鼎国际 | 234.0 | TWD | 0.00% |
创见资讯 | 96.9 | TWD | +0.41% |
威刚科技 | 86.3 | TWD | -0.23% |
世迈科技 | 17.850 | USD | +1.48% |
朗科科技 | 24.73 | CNY | -4.48% |
佰维存储 | 62.00 | CNY | -4.20% |
德明利 | 123.50 | CNY | -3.82% |
大为股份 | 14.31 | CNY | -2.05% |
封测厂商 |
华泰电子 | 32.05 | TWD | +1.75% |
力成 | 114.0 | TWD | +2.70% |
长电科技 | 33.69 | CNY | -1.69% |
日月光 | 137.5 | TWD | 0.00% |
通富微电 | 25.69 | CNY | -2.32% |
华天科技 | 9.39 | CNY | -1.88% |
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