中微公司发布 2026 年一季度报告:营收 29.15 亿元,同比增长 34.13%;归母净利润9.30 亿元,同比增长 197.20%;扣非净利润 4.78 亿元,同比增长 60.09%。该季度中微公司研发投入合计达到 9.08 亿元,同比增长 32.15%,研发支出占营业收入比例约为 31.14%,远高于科创板上市公司平均研发投入水平,持续推进六大类、超 20 款新设备的研发。在先进刻蚀工艺领域,高端产品新增付运量显著提升,下一代设备已进入客户验证阶段,已全面覆盖存储器刻蚀应用的各类超高深宽比需求。