编辑:AVA 发布:2023-12-07 11:41
据日媒报道,尼康宣布将于2024年1月起发布ArF浸没式扫描仪“NSR-S636E”,作为关键层的曝光系统,该系统具有公司历史上最高的生产率,并具有高水平的套印精度和吞吐量。
该扫描仪提高了在线对准站(iAS)的测量精度,在曝光前对晶圆进行高速、高精度的多点测量,从而可以校正网格误差。尼康声称,它可以以较以往更高的精度测量晶圆翘曲、扭曲和其他变形,并实现了高重叠精度(MMO ≤ 2.1 nm)。
此外,吞吐量已增加至每小时280 发,并且通过减少停机时间,与当前型号相比,整体生产率提高了10-15%,已达到该司半导体光刻设备中最高的生产率水平。
此外,尼康表示,曝光设备在不牺牲生产率的情况下,在需要高重叠精度的半导体制造工艺中具有优异的性能,例如三维半导体,作为提高半导体性能的方法,这些工艺正在进一步进行技术开发。该公司表示,将针对半先进逻辑和存储器以及CMOS图像传感器和3D NAND等三维半导体的多样化需求提出最佳解决方案。
存储原厂 |
三星电子 | 61300 | KRW | +1.32% |
SK海力士 | 286000 | KRW | +2.69% |
铠侠 | 2530 | JPY | -0.75% |
美光科技 | 127.910 | USD | +4.78% |
西部数据 | 62.070 | USD | +2.80% |
闪迪 | 47.340 | USD | +0.83% |
南亚科技 | 55.0 | TWD | -3.00% |
华邦电子 | 20.25 | TWD | +1.00% |
主控厂商 |
群联电子 | 521 | TWD | +0.58% |
慧荣科技 | 72.320 | USD | +3.28% |
联芸科技 | 41.25 | CNY | +2.46% |
点序 | 55.6 | TWD | +1.46% |
品牌/模组 |
江波龙 | 82.69 | CNY | +0.96% |
希捷科技 | 136.310 | USD | +2.43% |
宜鼎国际 | 239.5 | TWD | +2.35% |
创见资讯 | 102.5 | TWD | +1.99% |
威刚科技 | 95.9 | TWD | +0.21% |
世迈科技 | 20.350 | USD | +3.88% |
朗科科技 | 24.99 | CNY | +1.63% |
佰维存储 | 66.66 | CNY | +2.08% |
德明利 | 127.30 | CNY | +2.63% |
大为股份 | 19.40 | CNY | +0.52% |
封测厂商 |
华泰电子 | 41.95 | TWD | +0.96% |
力成 | 132.0 | TWD | -0.75% |
长电科技 | 33.22 | CNY | +0.97% |
日月光 | 153.0 | TWD | +2.34% |
通富微电 | 24.99 | CNY | +1.17% |
华天科技 | 9.15 | CNY | +0.77% |
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