编辑:AVA 发布:2023-10-23 11:34
近期,日本半导体设备厂商佳能宣布开卖采用纳米压印(Nano-imprint Lithography,NIL) 技术的微影设备FPA-1200NZ2C,佳能表示纳米压印微影设备可用来生产现行最先进的5nm芯片,期望改良后可进一步用来生产2nm产品。
据悉,纳米压印跟封蜡印章的原理类似,先在表面涂光刻胶,再用做好的光罩模具压下,就可以做出像要的图案,因为纳米压印的模具能够重复压印,适用于大量制作光盘、芯片及太阳能电池内的微细结构。佳能为纳米压印技术研发出最佳的光刻胶材料,以及用于压印的纳米级对准技术,还实现清洁半导体的微粒控制技术,相较于已商用化的EUV技术,纳米压印技术的耗电量只需 EUV 的十分之一,金额只需EUV的40%,大幅减少耗能,并降低设备成本。
由于纳米压印技术需使用软性材质的光刻胶材料,适合使用在规则性结构如DRAM和NAND FLASH,而逻辑芯片只有少部分的结构可以使用,故纳米压印技术仍无法完全取代EUV微缩技术。
存储原厂 |
三星电子 | 65900 | KRW | -0.15% |
SK海力士 | 266000 | KRW | -1.30% |
铠侠 | 2457 | JPY | -4.25% |
美光科技 | 111.260 | USD | -0.42% |
西部数据 | 68.820 | USD | -0.29% |
闪迪 | 42.480 | USD | +1.00% |
南亚科技 | 43.25 | TWD | +0.58% |
华邦电子 | 17.45 | TWD | +0.58% |
主控厂商 |
群联电子 | 521 | TWD | -0.38% |
慧荣科技 | 72.800 | USD | -1.41% |
联芸科技 | 43.04 | CNY | +2.33% |
点序 | 52.8 | TWD | -1.12% |
品牌/模组 |
江波龙 | 87.20 | CNY | +1.64% |
希捷科技 | 150.890 | USD | -1.20% |
宜鼎国际 | 225.0 | TWD | -0.44% |
创见资讯 | 89.9 | TWD | +0.33% |
威刚科技 | 90.9 | TWD | -0.87% |
世迈科技 | 25.160 | USD | +1.04% |
朗科科技 | 24.89 | CNY | +2.01% |
佰维存储 | 64.78 | CNY | +0.43% |
德明利 | 87.30 | CNY | +3.69% |
大为股份 | 17.34 | CNY | -0.86% |
封测厂商 |
华泰电子 | 38.90 | TWD | -1.52% |
力成 | 140.0 | TWD | +0.72% |
长电科技 | 34.82 | CNY | +0.35% |
日月光 | 153.5 | TWD | -1.29% |
通富微电 | 26.57 | CNY | +0.72% |
华天科技 | 10.39 | CNY | +0.87% |
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