SK海力士大手笔引进EUV设备,用于HBM与DRAM量产

存储器 2026-03-24 17:11

据外媒报道,SK海力士将引进价值约12万亿韩元(约合554亿元人民币)、占总资产9.97%的极紫外光刻(EUV)设备,用于下一代DRAM和高带宽存储器(HBM)量产。设备计划从本月起至明年底分期引进,每台设备分次付款。EUV由荷兰ASML独家生产,波长仅为传统ArF光源的1/13,是实现超精细工艺的关键设备,最新款单价约3000亿韩元。相关设备将陆续导入正在建设的清州M15X晶圆厂及龙仁半导体集群首座工厂,后者预计在明年2月洁净室启用后开始设备引进。

简讯快报

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