编辑:Holly 发布:2024-09-03 15:02
三星电子正在测试TEL的新型气体团簇束 (GCB) 设备,该设备用于改善极紫外 (EUV) 图案化。这一测试可能会改变先进EUV光刻技术的市场格局,目前由应用材料公司主导。
据韩媒报道,三星电子正在测试TEL的新设备“Acrevia”。Acrevia 是TEL 的GCB 设备。这是一种利用离子束的设备,可用于对晶圆的局部区域进行整形。
TEL强调,Acrevia设备可以改善EUV工艺中的图案粗糙度(LER)和图案缺陷。业内人士认为,该设备将能够缩短流程并改进图案。一位熟悉三星电子的官员表示,“(TEL的新设备)与应用材料公司的‘Centura Sculpta’设备类似,目前正在测试中,希望能够应用于未来的量产过程。”
业界预计通过应用TEL新设备可以提高利润率,主要原因有两个:首先可以通过照射离子束来进行图案成形。使用此功能,需要 EUV 多重图案化的电路只需使用单一图案即可进行雕刻。此外,还可以消除 EUV 图案化过程中出现的随机误差。随机误差是指随机且不重复的误差。错误频繁发生,占 EUV 图案错误的 50%。
TEL一位高管表示,其客户正在进行设备测试,预计将首先应用于代工工艺,而不是存储器工艺。
随着TEL的新设备受到好评,预计EUV图案改进设备市场将发生变化。目前,该市场的领导者是应用材料公司。该公司通过向三星电子和英特尔等公司提供去年推出的 Centura Sculpta 来加强其市场主导地位。在去年 4 月,应用材料宣布正在三星电子 4 纳米工艺上测试 Centura Sculpta 设备。该设备还通过照射离子束来改善晶圆上的图案错误。另外,据了解,桥缺陷去除功能正在2nm工艺中进行测试。
据CFM闪存市场了解,三星和SK海力士已在1a和1b nm技术节点引入了EUV设备,今年它们还将推出1c nm DRAM,并增加EUV技术的使用,美光则将在1γnm节点首次引入EUV技术,并于2025年量产。
存储原厂 |
三星电子 | 55300 | KRW | +0.36% |
SK海力士 | 175000 | KRW | 0.00% |
铠侠 | 1782 | JPY | -2.84% |
美光科技 | 68.800 | USD | -0.76% |
西部数据 | 36.510 | USD | +2.50% |
闪迪 | 31.290 | USD | -2.31% |
南亚科 | 35.30 | TWD | +9.97% |
华邦电子 | 15.90 | TWD | +3.25% |
主控厂商 |
群联电子 | 435.0 | TWD | +0.46% |
慧荣科技 | 39.220 | USD | -1.56% |
联芸科技 | 40.80 | CNY | -2.39% |
点序 | 51.5 | TWD | +1.18% |
国科微 | 63.92 | CNY | -0.81% |
品牌/模组 |
江波龙 | 76.90 | CNY | -0.67% |
希捷科技 | 75.780 | USD | +4.06% |
宜鼎国际 | 239.5 | TWD | +2.79% |
创见资讯 | 102.0 | TWD | +2.51% |
威刚科技 | 80.0 | TWD | +1.91% |
世迈科技 | 15.880 | USD | -3.41% |
朗科科技 | 23.65 | CNY | +0.60% |
佰维存储 | 60.15 | CNY | -0.38% |
德明利 | 129.65 | CNY | -3.22% |
大为股份 | 13.46 | CNY | -1.25% |
封测厂商 |
华泰电子 | 32.25 | TWD | +1.57% |
力成 | 110.5 | TWD | -0.90% |
长电科技 | 32.80 | CNY | 0.00% |
日月光 | 129.0 | TWD | -0.39% |
通富微电 | 25.35 | CNY | -0.86% |
华天科技 | 9.78 | CNY | -0.41% |
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