三星子公司Semes成功开发ArF-i光刻涂胶/显影设备

据韩媒报道，三星晶圆厂设备制造子公司 Semes 已成功开发出氩氟化物浸没 (ArF-i) 光刻涂胶/显影设备。其首台设备名为 Omega Prime，已于去年供应，目前正在制造第二台。

到目前为止，韩国芯片制造商完全依赖外国晶圆厂设备制造商提供机器。三星每年为此花费数千亿韩元。东京电子占据了ArF-i光刻涂胶/显影设备全球 90% 以上的市场份额。

光刻涂胶/显影设备用于芯片生产的光刻工艺，其中光刻胶沉积在晶圆上，当暴露在光线下时，光刻胶就会被绘制成电路图案。

Semes 迄今已制造了氟化氪 (KrF) 光刻涂胶/显影设备，并开发了 ArF 版本以应对波长更短的新型光刻机。

Semes 表示，它在 Omega Prime 上应用了喷嘴、烘烤温度和机器人位置调整等自动化系统，以消除涂层和显影过程中的设定偏差。