20奈米世代DRAM竞赛再度鸣枪起跑,设备商艾司摩尔(ASML)近期要求各大DRAM厂针对深紫外光(EUV)机台先付订金,以免重蹈2010年台厂转入50和40奈米时因浸润式曝光(Immersion Scanner)机台缺货而卡住覆辙,目前三星电子(Samsung Electronics)和海力士(Hynix)纷宣布下订金参赛,但台厂只有瑞晶决定忍痛砸下1亿美元先订1台,南亚科和华亚科暂不考虑。
DRAM产业竞争力不仅比技术、成本及产品广度,更要比口袋深度,DRAM厂除偿债外,还要不断买新机台设备,来驱动制程技术演进,过去1台机台售价新台币10亿~15亿元,但进入20和10奈米制程世代后,EUV机台价格高达1亿美元(约新台币30亿元)。
韩系内存厂三星和海力士已宣布下订购买EUV机台,下世代竞赛绝不缺席,除DRAM技术要转进20奈米制程,需要用到EUV机台,NAND Flash制程技术很快就会走入10奈米世代,EUV机台对三星和海力士,绝对是保持领先优势必备品。
反观台DRAM厂目前表态购买EUV机台仅有瑞晶,连筹资能力最强的南亚科和华亚科,都表态不急着买,合作伙伴美光(Micron)曾向ASML下订,但后来又取消订单,态度转趋观望。力晶2011年将力拼以浸润式曝光技术转进45奈米,茂德则是财务能力有限,对于EUV机台敬谢不敏。
DRAM厂透露,ASML是希望DRAM厂现在就可以下订金买EUV机台,以免在20奈米制程世代来临时,重蹈2010年各厂转进50或40奈米制程卡在设备机台缺货窘境,尽管台系DRAM厂无法先卡住关键的EUV机台,但其他半导体大厂对于制程演进竞赛丝毫不松懈,包括台积电、东芝(Toshiba)、全球晶圆(Global Foundries)等,都宣布支持EUV技术。
瑞晶成为台湾目前唯一下订金买EUV机台的DRAM厂,更深层意义应是未来尔必达(Elpida)阵营研发重心,将逐渐转到瑞晶身上,以目前尔必达阵营研发导入顺序,新技术仍是以尔必达广岛厂为优先,再者依序是瑞晶、力晶、茂德,未来尔必达不排除将最新制程移到台湾作先锋。
另外,瑞晶下订金买下EUV机台,但预计机台设备真正到位时间点在2012年,在机台到位前,买设备的钱就要先付清,瑞晶2010年底前12吋晶圆厂会全数转进45奈米,2011年转进35/38奈米制程,2012年EUV机台到位后,可顺势转进20奈米制程。