韩媒：SK海力士将在蚀刻工艺引入AI解决方案

据韩媒报道，SK海力士将在其创建半导体电路图案的蚀刻工艺中引入AI解决方案。

报道称，SK海力士子公司Gauss Labs近日发布了基于AI的虚拟计量解决方案Panoptes VM 2.0版。Panoptes VM 是一种虚拟计量 AI 解决方案，利用从设备上的传感器收集的数据来预测制造过程的结果。它可以预测任何产品的工艺结果，而无需进行物理全尺寸测量，从而大大节省时间和资源。

Gauss Labs于2022年11月发布了Panoptes VM 1.0。同年12月，SK海力士将其引入量产工厂，应用于薄膜沉积工艺，将工艺差异改善了约29%，并提高了成品率。

SK海力士计划将这一最新改进的解决方案扩展到其蚀刻工艺。蚀刻是通过使用液体或气体腐蚀溶液选择性地去除晶圆上不必要的部分来创建半导体电路图案的过程。

Gauss Labs在解决方案中增加了多步骤建模功能。该功能允许使用待预测工序和已完成工序的数据进行建模，可用于提高受先前工序影响较大的蚀刻工序的虚拟计量精度。

此外，新增了“相似工序综合建模”功能，通过整合相似工序的数据用于虚拟计量，可以最大限度地减少因数据不足而引起的问题，并强调了“自动算法选择”功能，可以根据数据特点自动选择最佳的预测算法，同时提升虚拟计量质量和用户的便利性。