编辑:AVA 发布:2023-11-20 16:17
据韩媒报道,SK 海力士预计将开始在 3D NAND 生产中使用其子公司开发的厚氟化氪 (KrF) 光致光刻胶 (PR)。
消息人士称,SK Materials Performance是SK集团于2020年以400亿韩元收购的锦湖石化的电子材料业务部门,该公司开发了KrF PR,最近通过了SK海力士的质量测试。
SK 海力士让自己的子公司开发先进 NAND 关键材料的举措将使其在存储市场上与竞争对手相比更具竞争力。
SK Materials Performance 的 KrF PR 厚度约为 14 至 15 微米,与东进半导体生产的类似。
3D NAND 生产需要“厚”PR,因为可帮助它们更适合堆叠。例如,在 100 层 NAND 中,一层一层地制作会变得非常昂贵。在此过程中使用厚的 PR 可以让芯片制造商一次制作多层。较厚意味着 PR 的粘胶性更强,这会对均匀性产生负面影响,因此它们的开发具有挑战性。
预计 SK 海力士将在开始扩大 238 层 3D NAND 的生产以配合市场复苏时应用新的PR。
它将主要从自己的关联公司采购 PR,并使用 JSR 作为二级供应商。这意味着先进工艺将使用 SK Materials Performance 和 JSR 的其他工艺。
消息人士称,SK 海力士每月生产约 5,000 片 238 层 3D NAND 晶圆,但预计这一数字很快将大幅攀升。
存储原厂 |
三星电子 | 54800 | KRW | +0.37% |
SK海力士 | 190100 | KRW | -0.11% |
铠侠 | 2046 | JPY | +5.85% |
美光科技 | 85.860 | USD | +0.83% |
西部数据 | 44.100 | USD | -0.45% |
闪迪 | 37.740 | USD | +2.95% |
南亚科 | 34.35 | TWD | -1.72% |
华邦电子 | 15.55 | TWD | -0.32% |
主控厂商 |
群联电子 | 462.0 | TWD | +0.11% |
慧荣科技 | 53.540 | USD | +1.42% |
联芸科技 | 40.59 | CNY | -3.63% |
点序 | 54.0 | TWD | +1.69% |
国科微 | 69.09 | CNY | -1.27% |
品牌/模组 |
江波龙 | 77.56 | CNY | -2.82% |
希捷科技 | 95.710 | USD | -0.61% |
宜鼎国际 | 234.0 | TWD | 0.00% |
创见资讯 | 96.9 | TWD | +0.41% |
威刚科技 | 86.3 | TWD | -0.23% |
世迈科技 | 17.610 | USD | -1.34% |
朗科科技 | 24.73 | CNY | -4.48% |
佰维存储 | 62.00 | CNY | -4.20% |
德明利 | 123.50 | CNY | -3.82% |
大为股份 | 14.31 | CNY | -2.05% |
封测厂商 |
华泰电子 | 32.05 | TWD | +1.75% |
力成 | 114.0 | TWD | +2.70% |
长电科技 | 33.69 | CNY | -1.69% |
日月光 | 137.5 | TWD | 0.00% |
通富微电 | 25.69 | CNY | -2.32% |
华天科技 | 9.39 | CNY | -1.88% |
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