SK海力士M16工厂发生氟化氢泄露事件:3名工人受伤

半导体 中国闪存市场 AVA 2021-04-07 10:13

据韩媒DDaily报道,日前,SK海力士利川M16工厂3名工人在检查设备的过程中因毒性物质氟酸泄露受伤。据悉,一名工人被烧伤胳膊和腿,另外两名因吸入氟化氢而被送往医院,三名均无生命危险。

报道称,4月6日上午11点34分时,在京畿道利川市SK海力士 M16工厂5楼的设备进行检查期间,发生氢氟酸泄漏事故。

M16是SK海力士的新工厂,于今年2月完工,累计投资达3.5万亿韩元,主要用于生产DRAM产品。新工厂的建筑面积大57000平方米,是SK海力士在全球最大的生产基地。

M16的特别之处在于首次引进了EUV光刻设备,并从今年下半年开始生产1αnmDRAM产品。

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