半导体测试设备供货商龙头,爱德万测试股份有限公司发表了最新的MASK MVM-SEM (多重视角扫描式电子显微镜),型号E3650,同样使用爱德万特有的电子束扫描科技,这台最新的仪器可测量光罩上最精细的图案尺寸,同时兼具更高的精准度与稳定度。
E3650是该公司E3600系列的新生力军,过去E3600系列也广受光罩半导体市场的欢迎。这次的新作则拥有比现有型号E3640多一倍的测试产能,E3650产能较高的特性,能应付较复杂图案所需要的大量量测,以及因为多重曝光而增加的光罩数量。

此外在先进光罩上,此次的新型号在量测EUV光罩、以及奈米压印应用的主模板上也拥有绝佳表现,E3650将会于2018年12月12号至14号,在日本东京国际展览中心所举行的国际半导体展出。

